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atomax二流體噴嘴在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

  • 發(fā)布日期:2024-08-05      瀏覽次數(shù):234
    •   二流體是指兩種介質(zhì)(可以是兩種液體,也可以是一種液體,一種氣體)在一定條件下相遇,形成內(nèi)部相互穿流的復(fù)合流體。廣泛應(yīng)用于加濕、噴霧、清洗等領(lǐng)域。
       
        二流體技術(shù)在廠務(wù)方面主要的應(yīng)用為加濕。例如:空調(diào)箱二流體加濕器的應(yīng)用。二流體加濕器利用真空虹吸的原理將RO水與壓縮空氣混合后經(jīng)控制器的調(diào)節(jié)控制經(jīng)加濕噴嘴,利用空化作用使水霧化達(dá)到加濕的效果。
       
        二流體技術(shù)在半導(dǎo)體工藝方面主要的應(yīng)用為清洗。例如:二氧化碳發(fā)泡機(jī)的應(yīng)用。二氧化碳發(fā)泡機(jī)主要是用于芯片切割劃片時(shí),‌通過二氧化碳發(fā)泡機(jī)產(chǎn)生的二氧化碳泡沫來防止靜電吸附硅屑,‌以及用于中和清洗產(chǎn)品中的堿性物質(zhì),‌確保清洗過程中的純凈度。
       
        綜上,在半導(dǎo)體工廠中二流體技術(shù)的應(yīng)用還是十分常見的。但是在該技術(shù)的及時(shí)應(yīng)用中確有一重要點(diǎn)需要多加防范:二流體發(fā)生裝置的串流問題。即液體竄至氣體管道以及系統(tǒng)內(nèi)或者氣體竄至液體管道以及系統(tǒng)內(nèi)。
       
        ATOMAX的產(chǎn)品特征
       
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      Atmax噴嘴是獲得“外混合渦流式緊湊型精密二流體噴嘴”,非常適合霧化液體。
       
        高速旋流將液體高效粉碎霧化成霧化噴霧。液滴尺寸分布也非常好。噴嘴內(nèi)部結(jié)構(gòu)非常簡單,大直徑可以穩(wěn)定連續(xù)噴射,不會(huì)堵塞。為了獲得霧化液體,人們一直認(rèn)為液體應(yīng)該通過微小的孔噴射出來,但Atmax噴嘴是一個(gè)源自非常想法的原創(chuàng)產(chǎn)品。
       
        結(jié)構(gòu)簡單即使使用高粘度和漿料也不會(huì)堵塞
       
        還可以噴涂以前難以霧化的粘性液體、漿料和乳液。
       
        由于是外置混合噴嘴,因此噴嘴內(nèi)部不存在液體堵塞的可能性。
       
        液體流路具有簡單的直線結(jié)構(gòu)。
       
        與傳統(tǒng)噴嘴相比,噴霧孔徑更大(約10至200倍)。
       
        即使在低壓下也能進(jìn)行噴霧操作,因此不會(huì)滴落或滴落。
       
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      高性能/高功能可噴射 細(xì)顆粒噴霧(5μm)
       
        即使噴射直徑很大,也可以噴射出細(xì)小的顆粒。渦流霧化提供非常均勻的顆粒尺寸。
       
        使用單個(gè)噴嘴可以控制從相當(dāng)于 5 微米到雨滴大小的顆粒的噴霧。
       
        該噴嘴也非常適合多種液體的混合噴涂。液體供應(yīng)通過管道分別輸送到噴嘴附近,從而可以在噴嘴噴射部分進(jìn)行混合噴射。當(dāng)由于液體的性質(zhì)而無法預(yù)先攪拌和混合時(shí),它是有效的。
       
        由于部件配置簡單,噴嘴可以根據(jù)產(chǎn)品的環(huán)境和耐化學(xué)性使用特殊材料制造。我們可以選擇和制造耐熱、耐腐蝕、耐磨材料。
       
        由于單噴嘴的噴射控制自由度較大,因此噴射條件的設(shè)定相對(duì)容易。通過控制液體供應(yīng)量和霧化氣體流量,可以實(shí)現(xiàn)所需的噴射設(shè)置。
       
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      小巧輕便可以安裝在任何地方、用于任何目的
       
        噴嘴尺寸極小,因此可以安裝在任何地方。
       
        由于重量輕,因此可以輕松安裝在設(shè)備中。噴嘴可以使用注射口附近的安裝螺釘和螺母固定。
       
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      優(yōu)異的維護(hù)性僅 2 個(gè)組件
       
        只有兩個(gè)部件,易于安裝和拆卸,維護(hù)簡單。
       
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      優(yōu)異的節(jié)能性能技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效噴涂
       
        我們的技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高效的霧化噴涂。與傳統(tǒng)噴嘴相比,霧化消耗的壓縮氣體更少。
       
        由于噴嘴具有自吸功能,無需泵即可噴射低粘度液體。
       
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    聯(lián)系方式
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