daico在線加熱器（CL 加熱器）產品介紹

發(fā)布日期：2024-08-31      瀏覽次數(shù)：134

daico在線加熱器（CL 加熱器）產品介紹

大工制作所的在線加熱器（CL加熱器：Chemical Line Heater）在接液部分使用高純度石英玻璃，用于半導體制造濕法工藝中各種化學溶液和純水的高溫加熱，并使用鹵素的紅外光能量使用燈加熱器的清潔加熱裝置。






特征

   













   ① 清潔度

　      接液部件采用石英玻璃制成，金屬離子溶出極低，并具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學性。

　      另外，由于它采用光輻射加熱方式，因此加熱器損壞時不會產生金屬污染。

  

   ② 高效熱源

　      具有快速啟動和關閉時間的鹵素加熱器。 85%以上紅外轉換及投射。

  

③安全 



















　      配有超溫傳感器、過熱檢測傳感器和漏電檢測引線。

         ?另外需要檢測器。

　　　?請在不同的系統(tǒng)中使用干熱檢測傳感器和過熱檢測傳感器。

  

④維護 

     　 采用單端加熱器，存儲緊湊，維護方便。

 

 




內部結構

   



 

  




溫升數(shù)據(jù)

　　

 

 




規(guī)格

　

方法		使用鹵素燈加熱器的輻射加熱方法
產品編號		CLH2603T-25P	CLH3903T-25P	CLH4123T-25P
性能配置	加熱器功率	6千瓦	9千瓦	12千瓦
	最高工作溫度	180℃
	接液部件材料	高純石英玻璃
	允許內壓	0.4兆帕
	管道直徑（石英）	25毫米[※1]	25毫米	25毫米
	適用配管（氟樹脂）	φ25mm[※1]	φ25mm	φ25mm
	安全機制	超溫傳感器、過熱檢測傳感器、泄漏檢測引線
	功耗	交流200V 6KVA	交流200V 9KVA	AC200V12KVA
住房	外殼材質	氟樹脂（PTFE）
	外殼尺寸（寬 x 長 x 高）	230×432×242mm [※2]	230×432×242mm [※2]	230×432×242mm [※2]
	重量	約14公斤	約15公斤	約16公斤






















*不能用于浸泡石英玻璃或氟樹脂的化學溶液。

*石英管配件請自行準備。 （石英管施工標準：與Nippon Pillar Industries石英接頭兼容）

*1 還備有配管直徑為 φ20mm 的“-20P"型。

*2 外殼（L）尺寸不包括石英頂部和底部管道的IN/OUT尺寸。