電阻率測(cè)量裝置(方塊電阻測(cè)量裝置)
半導(dǎo)體/LCD前工序(檢查)
適合專業(yè)技術(shù)人員的高性能工具。
這是一款手動(dòng)式測(cè)量?jī)x器,采用四探針法,輕松準(zhǔn)確地測(cè)量太陽能電池硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測(cè)量。
<應(yīng)用>
1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序(成膜等各種加工工序)的產(chǎn)品檢查
2) 液晶面板(LCD基板)制造:成膜時(shí)的產(chǎn)品檢查
3) 用于各種導(dǎo)電部件制造過程中的產(chǎn)品檢驗(yàn)
可以使用本公司另外配置的“4點(diǎn)探頭"進(jìn)行測(cè)量。