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更新日期:2024-03-16
簡要描述:
日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500多可同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)濃度顯示范圍很廣,從ppm到百分之100。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性
儀器種類 | 在線式 |
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日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
測量原理形狀顯示方式測量范圍重復(fù)性測量點(diǎn)數(shù)樣氣條件壓力流量濕度溫度其他比較氣記錄儀輸出變速箱輸出報(bào)警輸出熱身時(shí)間尺寸MS-500(控制器)MS-510(轉(zhuǎn)換器)傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW大眾MS-500(控制器)MS-510(轉(zhuǎn)換器)傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW外部連接使用電源
氧化鋯濃縮池類型 |
分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式) |
4位數(shù)字顯示(密度顯示) |
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 |
在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高 ±1%FS或± 0.1ppm中,以較大者為準(zhǔn)小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍 |
1?9?18 |
10 -3至200 KPa(壓力) |
0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測量) |
露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
0-100°攝氏度 |
請勿包含腐蝕性氣體(氟氣,lv氣,硫化物氣等),含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。 |
大氣層 |
僅變速箱輸出 |
RS-232C |
沒有 |
6分鐘以內(nèi) |
92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起) |
100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起) |
總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51) |
總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48) |
總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49) |
約0.6Kg |
約0.5kg |
約0.2Kg |
約0.2Kg |
約0.35Kg |
真空法蘭之一(NW16、25、40) |
24VDC±10% |