日本nanogray X射線測(cè)厚儀SX-1100系列

使用軟X射線（軟X射線）的厚度計(jì)（膜厚度計(jì)）。以非接觸方式（軟X射線）測(cè)量薄片和板狀物體的厚度和密度（基本重量）。通過直接與參考物質(zhì)比較來計(jì)算厚度和密度（基本重量），而不是直接測(cè)量厚度。
　通常，為了測(cè)量片材的寬度方向上的厚度分布，檢測(cè)系統(tǒng)由掃描儀攜帶并進(jìn)行測(cè)量。通常使用激光位移計(jì)作為不接觸地測(cè)量厚度的手段，但是如果將激光位移計(jì)安裝在掃描儀上，則其傳送的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于激光位移計(jì)的精度，從而導(dǎo)致結(jié)果。高精度測(cè)量是困難的。
　另一方面，在諸如X射線厚度計(jì)之類的通過透射衰減來估計(jì)厚度的方法中，測(cè)量了空氣層-樣品-空氣層與透射之間的衰減，但是由于樣品引起的衰減很大。比空氣的厚度大，運(yùn)輸?shù)挠绊憙H表現(xiàn)為空氣層厚度的變化，并且影響很小。因此，可以高精度地進(jìn)行測(cè)量。

軟X射線測(cè)厚儀的一般功能

1. 無需任命放射線處理負(fù)責(zé)人或X射線工作負(fù)責(zé)人，也無需設(shè)置受控區(qū)域
   （需要通知?jiǎng)趃ong標(biāo)準(zhǔn)檢查辦公室）
2. 路徑錯(cuò)誤可以忽略
3. 高元素依賴性

與傳統(tǒng)的軟X射線測(cè)厚儀相比，我們的軟X射線測(cè)厚儀的功能

1. 檢測(cè)單元和X射線源單元結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，甚至可以安裝在狹窄的地方。
2. 測(cè)量范圍廣（材料/厚度）

采用

• 銅箔，鋁箔，不銹鋼箔
• 電池電極
• 陶瓷（薄板，薄餅）
• 玻璃纖維布

日本nanogray X射線測(cè)厚儀SX-1100系列