日本富士工業(yè)fuji單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

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該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（例如可維護(hù)性和高精度的在線測量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

可以進(jìn)行實(shí)時(shí)濃度測量，并且很容易建立濃度控制系統(tǒng)。

• 配備模擬DC 4至20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
• 標(biāo)配測量誤差輸出和報(bào)警輸出
• 配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
• 小巧輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
• 由于使用PFA的潤濕部件的質(zhì)量和小產(chǎn)量設(shè)計(jì)，因此對化學(xué)溶液沒有影響。?

優(yōu)點(diǎn)

• 高精度連續(xù)測量
• 免維護(hù)，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
• 易于安裝，無需在安裝過程中進(jìn)行各種調(diào)整
• 通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過程?

用途

• CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
• 控制稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
• 清潔過程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IP

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