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更新日期:2024-03-22
簡要描述:
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SW1-2可以測量從大氣壓到5×10M -2 Pa的寬范圍的皮拉尼真空計。出色的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度都在±20%以內(nèi)
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SW1-2
可以測量從大氣壓到5×10M -2 Pa的寬范圍的皮拉尼真空計。
此外,該真空計消除了傳統(tǒng)控制器(傳感器單元)的操作和顯示部件,并將其縮小到低限度的必要功能,從而實現(xiàn)了“降低成本"和“節(jié)省空間"。
特征
廣域測量:可進行從大氣壓到5×10 -2 Pa 的廣域測量
提高耐沖擊性:高耐沖擊性設(shè)計結(jié)構(gòu)
出色的大氣壓精度:無論真空計的安裝位置如何,精度都在±20%以內(nèi)
燈絲材料/鉑(Pt):耐腐蝕鉑用作燈絲材料。
提高可視性:配備用于檢查異常的 LED
可一鍵調(diào)節(jié):可一鍵調(diào)節(jié)氣壓和調(diào)零。
可維護性:易于更換手寫筆
適用測針擴展:除NW16/25規(guī)格外,還增加了Φ15/18規(guī)格、對角法蘭規(guī)格、錐螺紋R1/8規(guī)格。
測量值輸出信號:0 至 10 V 壓力日志輸出為標準設(shè)備
控制輸出信號:可輸出2個設(shè)定點(SW1-1)
串行通信規(guī)格:可進行RS-232C/RS-485通信(SW1-2)
符合標準:兼容CE標準
運用
太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元件等的制造
用于設(shè)備低真空區(qū)域的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制
在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種類型
用于制造設(shè)備低真空區(qū)域的過程控制
規(guī)格
模型 | SW1-1 | SW1-2 |
可連接觸控筆 | 一 | |
適用觸控筆 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(φ18)、SWP-P15(φ15)、SWP-CF16(ICF034)、SWP-1S( ASME BPE 衛(wèi)生型 1") | |
測量壓力范圍 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa(Pa(顯示范圍:1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa) | |
測量精度* | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±10% | |
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa, 1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa : ±20% | ||
可重復(fù)性 | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±2% | |
采樣時間 | 50ms 5次移動平均處理 | |
測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0~10V | |
壓力指示(對數(shù)輸出) 1.7V ~ 8.0V 1V/位(輸出范圍:1.0V ~ 8.1V) | ||
(更新時間) 50ms | ||
控制輸入信號 | 集電極開路輸入,負邏輯 | - |
ADJ調(diào)節(jié)(零位調(diào)節(jié)、氣壓調(diào)節(jié)) | - | |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出, | - |
錯誤信號 | - | |
設(shè)定點 1、2 | - | |
設(shè)定值監(jiān)視器 | 設(shè)定點 1、2:0-10V 日志輸出 | - |
串行通信規(guī)范 | - | RS232C/RS485 |
LED顯示屏 | POWER/ERROR:電源,錯誤指示燈 | |
SET-1:設(shè)定點 1 LED | - | |
SET-2:設(shè)定點 2 LED | - | |
燈絲材料 | 鉑 | |
工作溫度限制 | 10~40℃ | |
工作濕度范圍 | 15~80%(無冷凝) | |
知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30(傳感器單元) | |
安裝姿勢 | 沒有限制 | |
電源電壓 | DC18V~30V,2W(通電時4.8W) | |
輸入/輸出連接器 | D-sub15-pin (M2.6mm螺絲) 傳感器單元側(cè) | |
大量的 | 150g(含 SWP-16) | |
尺寸(電源)WxDxH | 70mm×46mm×28mm | |
配件 | 快速手冊 | |
選項 | I/O連接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺絲))、檢驗報告、通用校準測試報告、JCSS校準證書 | |
顯示:ISG1(1ch)、IM1R1/IM2R1(4ch) | - |