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更新日期:2024-03-22
簡(jiǎn)要描述:
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計(jì)SP1傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測(cè)量單元。傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)(觸針可更換),是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計(jì)。
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計(jì)SP1
傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測(cè)量單元。
傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)(觸針可更換),是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計(jì)。
特征
傳感器規(guī)格:不需要壓力指示器時(shí)、降低真空計(jì)成本、節(jié)省控制面板周圍的空間、節(jié)省布線等。
輕松更換觸控筆
燈絲材料使用耐腐蝕鉑。
您一直使用的觸控筆(SP1:WP-01、02、03、16)可以原樣使用。
可以輸出兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1:壓力為0~5V輸出(非線性輸出)
電源電壓:可使用DC24V輸入
用途
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計(jì)SP1
規(guī)格
類型 | 傳感器單元 |
模型 | SP1 |
自適應(yīng)探頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
測(cè)量精度 | ±15%(51Pa 至 760Pa) |
±30%(10Pa 至 1000Pa) | |
±50%(0.4Pa 至 3000Pa) | |
工作溫度限制 | 10 至 40°C |
采樣時(shí)間 | 50ms 5次移動(dòng)平均處理 |
測(cè)量值輸出 | 非線性輸出:DC0-5V (Max.10V) |
(更新時(shí)間) 50 毫秒 | |
(分辨率) 10mV | |
設(shè)定點(diǎn) 1/2 調(diào)整的輸出 | 非線性輸出:DC 0-5V (Max.10V) |
控制輸出信號(hào) | 集電極開(kāi)路,負(fù)邏輯 |
錯(cuò)誤信號(hào) | |
設(shè)定點(diǎn) 1/2 | |
LED顯示屏 | 功率、誤差、設(shè)定值 1/2 |
電源電壓 | DC24V±2V, 90mA (Max.) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) |
身體質(zhì)量 | 190g(不含觸控筆) |
配件 | 輸入/輸出連接器 1套 |
快速手冊(cè) 1 份 |